行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺
良好接地設(shè)計雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
速度可達5m/s
標準重現(xiàn)1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度可達50nm
產(chǎn)品應(yīng)用:
半導(dǎo)體設(shè)備
自動化搬送
FPD設(shè)備
太陽能制造設(shè)備
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鉆石切割設(shè)備
AOI檢測設(shè)備
工具機
咨詢電話SERVICE LINE
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深圳市海威機電有限公司
免企業(yè)未認證證營業(yè)執(zhí)照未上傳
經(jīng)營模式:工廠
所在地:廣東省 深圳市
主營產(chǎn)品:工業(yè)設(shè)備及組件,制造加工機械
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