高潔凈
■材質(zhì)用304或316L制作,表面磨平拋光。可整機(jī)在100級潔凈間內(nèi)使用,而且裝有隔墻板,也可部分置于100級潔凈間內(nèi)使用,如圖中所示。
低溫快干
■溶劑在高真空狀態(tài)下易氣化或升華。
國內(nèi)
■本系列產(chǎn)品仿制國外同類產(chǎn)品,結(jié)合國產(chǎn)配件的特點(diǎn)和標(biāo)準(zhǔn),精心設(shè)計(jì)制作,價(jià)格為同類產(chǎn)品的十分之一。
參數(shù)/單位/產(chǎn)品型號 GGD-600 GGD-1000 GGD-1400
箱內(nèi)空載氣壓 Pa 1.3(0.01torr)6.5(0.05torr)13(0.1torr)
熱水溫度℃≤100
允許熱水壓力 MPa≤0.7
箱內(nèi)空間 mm×mm 600×××1400
料盤長×寬×高 mm×mm×mm 600×320×45 630×450×45
料盤放置量只 3 12 32
料盤總面積 m2 0.6 3.4 9.1
占用空間 mm×mm×mm 950×850××1300××1800×2100
總重量 Kg950







