適用于手機件等微小的電子部件等樣品，專門配備了微型準直器（小15μm）和75W（50kV，1mA）高功率X射線管，滿足測量微小區(qū)域及高的需求。測量樣品的微小部時與以往的機種相比，得出相同準確度的前提下大大縮短了測量時間。（SFT9300、SFT9350、SFT9355）　　

　　產品介紹：
　　SFT9300系列產品規(guī)格
　　型號：SFT9300／SFT9350／SFT9355
　　儀器的：微小面積對應型
　　可測量元素：原子序號22（Ti）～83（Bi）
　　X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球（Mo靶）
　　管電壓：50kV管電流：1.5mABe窗
　　濾波器：濾波器：Mo-自動切換
　　二次濾波器：Co-自動切換
　　照射方式：上方垂直照射方式
　　檢測器：比例計數(shù)管
　　儀器校正：自動校正
　　準直器（標準配置）：○型（三種）
　　□型（三種）
　　性能：樣品室門鎖，樣品沖撞功能
　　樣品圖像對焦：有（激光對焦）
　　樣品觀察：CCD攝像頭＋倍率光學器＋鹵素燈照明
　　焦點切換功能：3段切換9300：10／40／70mm
　　9350：10／25／40mm
　　應用  單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時測量、化學鎳
　　軟件  塊體FP法軟件、薄膜FP法軟件
　　測量功能：自動測量、中心搜索、圖像識別處理
　　修正功能：基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
　　統(tǒng)計處理功能：MS-EXCEL®
　　制作功能：MS-WORD®