由于各種實際應用對真空系統(tǒng)的要求不同,因此真空系統(tǒng)的類別也較多,根據(jù)不同的情況可對其分類。
(1)按真空系統(tǒng)的工作狀態(tài)可分為動態(tài)真空系統(tǒng)和靜態(tài)真空系統(tǒng)。凡是真空室或被抽器件某處有放氣或漏氣,系統(tǒng)中有氣流存在,因而系統(tǒng)內(nèi)各處壓強不同,這種系統(tǒng)稱為動態(tài)真空系統(tǒng)。凡是真空室或被抽器件內(nèi)沒有放氣和漏氣,系統(tǒng)內(nèi)沒有氣體流動,因而系統(tǒng)內(nèi)各處壓強相等,且長時間不變化,這種系統(tǒng)稱為靜態(tài)真空系統(tǒng)。
?。?)按真空系統(tǒng)工作的壓強分,有粗真空系統(tǒng);低真空系統(tǒng);高真空系統(tǒng);真空系統(tǒng)高真空系統(tǒng)。






