真空系統(tǒng)是用來獲得真空的排氣裝置。它主要由各種真空泵或真空發(fā)生器、電磁閥、真空計(jì)、真空閥門以及連接管道組成。如同電子電路中的電源、電流表、開關(guān)及導(dǎo)線一樣。
由于各種實(shí)際應(yīng)用對(duì)真空系統(tǒng)的要求不同，因此真空系統(tǒng)的類別也較多，根據(jù)不同的情況可對(duì)其分類。
?。?）按真空系統(tǒng)的工作狀態(tài)可分為動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)和靜態(tài)真空系統(tǒng)。凡是真空室或被抽器件某處有放氣或漏氣，系統(tǒng)中有氣流存在，因而系統(tǒng)內(nèi)各處壓強(qiáng)不同，這種系統(tǒng)稱為動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)。凡是真空室或被抽器件內(nèi)沒有放氣和漏氣，系統(tǒng)內(nèi)沒有氣體流動(dòng)，因而系統(tǒng)內(nèi)各處壓強(qiáng)相等，且長(zhǎng)時(shí)間不變化，這種系統(tǒng)稱為靜態(tài)真空系統(tǒng)。
?。?）按真空系統(tǒng)工作的壓強(qiáng)分，有粗真空系統(tǒng)；低真空系統(tǒng)；高真空系統(tǒng)；真空系統(tǒng)高真空系統(tǒng)。
由于各種實(shí)際應(yīng)用對(duì)真空系統(tǒng)的要求不同，因此真空系統(tǒng)的類別也較多，根據(jù)不同的情況可對(duì)其分類。
?。?）按真空系統(tǒng)的工作狀態(tài)可分為動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)和靜態(tài)真空系統(tǒng)。凡是真空室或被抽器件某處有放氣或漏氣，系統(tǒng)中有氣流存在，因而系統(tǒng)內(nèi)各處壓強(qiáng)不同，這種系統(tǒng)稱為動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)。凡是真空室或被抽器件內(nèi)沒有放氣和漏氣，系統(tǒng)內(nèi)沒有氣體流動(dòng)，因而系統(tǒng)內(nèi)各處壓強(qiáng)相等，且長(zhǎng)時(shí)間不變化，這種系統(tǒng)稱為靜態(tài)真空系統(tǒng)。
?。?）按真空系統(tǒng)工作的壓強(qiáng)分，有粗真空系統(tǒng)；低真空系統(tǒng)；高真空系統(tǒng)；真空系統(tǒng)高真空系統(tǒng)。
