采用?？怂箍导瘓F的技術(shù)；的全鋁技術(shù)，的剛性/質(zhì)量比，和高；X向橫梁采用精密三角梁（Tricision）技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比，運動更加，該技術(shù)受到保護；Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機器重量的同時，消除了運動扭擺，了測量和穩(wěn)定性；Z向采取獲得的氣動平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，了測量機的和長期穩(wěn)定性；三軸均采用德國HEIDENHAIN光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達0.078μm，同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，在溫度變化時的線性伸縮；各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動＋增強型同步帶，運動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位；采用?？怂箍禐镃roma打造的IDC-1控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術(shù)和自動調(diào)諧功能，了機器的動態(tài)性能和測量
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