重量:50公斤左右
面積:590mmW*500mmD*700mmH
卡盤臺(tái)X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸,
:10微米,均帶鎖旋鈕
卡盤臺(tái)可以上下快速升降4mm
6英寸的卡盤,中心孔徑小可以做到250微米,小可以吸附300 micron x 300micron的單顆芯片
PT200探針座
直線運(yùn)動(dòng),三方向行程:13mm-13mm-13mm
:0.35微米
重量:約1300克
真空吸附
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