產(chǎn)品名稱：PR系列白光干涉三維形貌儀
　　產(chǎn)品型號：PR05／06系列
　　
　　產(chǎn)品介紹
　　PR系列白光干涉三維形貌儀是本公司采用自主的技術(shù)研制開發(fā)并成功推出的測量儀器。儀器采用白光干涉原理，測量樣品表面微細形狀分布。是綜合運用光電子技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機械設(shè)計和加工技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、精密控制技術(shù)、計算機采集和控制技術(shù)、高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產(chǎn)品。為使用者提供高度、高解析度、快速、非接觸的三維形貌測量。可以快速測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸至納米級別。操作方便快捷、應(yīng)用范圍廣泛。儀器分高型（PR06系列）和標(biāo)準(zhǔn)型（PR05系列），滿足用戶不同級別的測量需求。
　　
　　產(chǎn)品原理
　　照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)干涉條紋明暗度解析出被測樣品的相對高度。
　　
　　使用特點
　　非接觸測量避免被測件受損
　　度測量可達97µm／s
　　高測量垂直解析度0.1nm，水平解析度0.43um
　　高穩(wěn)定測量標(biāo)準(zhǔn)臺階重復(fù)測量性≤1％＠1σ
　　大面積測量自動縫合的大范圍型號可供選擇
　　
　　技術(shù)的解析算法
　　透明膜形狀測定功能
　　友好的人機界面 PuruiVision應(yīng)用軟件大
　　多參數(shù)選擇可以測量三維形貌、粗糙度等指標(biāo)
　　適用范圍廣可以測量多種類型樣品的表面結(jié)構(gòu)
　　真正意義上的免維護設(shè)備
　　優(yōu)良的性價比。
　　
　　應(yīng)用領(lǐng)域
　　精密機械加工表面／半導(dǎo)體硅片及設(shè)備／MEMS裝置表面／磁數(shù)據(jù)存儲設(shè)備／材料／光電精密制造／金屬摩擦學(xué)／薄膜陶瓷等表面／聚合物和生物材料／光學(xué)器件表面。