BXT2931C型四通道半導(dǎo)體參數(shù)分析系統(tǒng)為、全自動(dòng)、可程控設(shè)備??捎糜诙囝惏雽?dǎo)體器件(如二管、三管、場效應(yīng)管、MOS、CMOS管等的多種不同成品形式如晶片、成品電路等)的直流參數(shù)測量和分析,并可進(jìn)行圖形顯示。主要應(yīng)用于集成電路的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD),新元件的評(píng)價(jià),新材料的評(píng)估,電路設(shè)計(jì)的元件選擇,半導(dǎo)體生產(chǎn)的過程控制、質(zhì)量控制及品質(zhì)等。
2、主要組成
設(shè)備配備可程控的源/測量單元(SMU)4個(gè),單路電壓監(jiān)測單元(VMU)1個(gè),主控單元(MCU)1個(gè)。使用GP-IB IEEE488.2接口與微機(jī)相連,配置的控制機(jī)軟件系統(tǒng)可遙控BXT2931C設(shè)備,使用BXT2931C設(shè)備采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖形顯示并分析。該設(shè)備可使用,也可作為實(shí)驗(yàn)室及生產(chǎn)線完整測試系統(tǒng)的組成部件之一。



