測量工作臺讀數(shù)裝置主要規(guī)格
X軸遇到測量范圍50nm
Y軸遇到測量范圍13nm
測量器分度值：0.01nm
測量臺轉(zhuǎn)動范圍不限： limit
測量臺刻度盤分度范圍：0°～360°
測量臺刻度盤之分度值：1°
測量臺刻度盤游標讀數(shù)示值：6’
測量：
儀器示值誤差：± （4+L/15）μ m
儀器示值誤差：包括測量誤差和系統(tǒng)誤差
注：測量地點溫度變化20℃ ±3℃，L--被測件長度
X軸遇到測量范圍50nm
Y軸遇到測量范圍13nm
測量器分度值：0.01nm
測量臺轉(zhuǎn)動范圍不限： limit
測量臺刻度盤分度范圍：0°～360°
測量臺刻度盤之分度值：1°
測量臺刻度盤游標讀數(shù)示值：6’
測量：
儀器示值誤差：± （4+L/15）μ m
儀器示值誤差：包括測量誤差和系統(tǒng)誤差
注：測量地點溫度變化20℃ ±3℃，L--被測件長度
