數(shù)字式高干涉、測角、分光儀集干涉儀、測角儀和分光計于一體，適用于激光和光學(xué)行業(yè)、計算機輔助的光機電一體化檢測儀器。采用高的CCD相機為接收單元；通過自主版權(quán)、包括干涉條紋分析模塊、角度計量模塊和分光測量模塊的計算機軟件輔助分析；實現(xiàn)測試過程的全自動和計量等級的測試。
具體性能指標(biāo)為：
體積：750 x 360x540mm3
重量：50kg
口徑：2"
：平面二分之一波長, 球面十分之一波長@532nm
重復(fù)度：一波長
測試與ZYGO同一等級。
測角模式：
口徑：2”
?。?.36角秒
分辨率：0.05角秒
測角范圍：+/-20角分
分光計模式：
波長：0.4um-2.3um
折射率：0.00001
軟件要求：
操作系統(tǒng)：Windows95/Windows98
主機：Pentium/Pentium II
硬盤：50M
具體性能指標(biāo)為：
體積：750 x 360x540mm3
重量：50kg
口徑：2"
：平面二分之一波長, 球面十分之一波長@532nm
重復(fù)度：一波長
測試與ZYGO同一等級。
測角模式：
口徑：2”
?。?.36角秒
分辨率：0.05角秒
測角范圍：+/-20角分
分光計模式：
波長：0.4um-2.3um
折射率：0.00001
軟件要求：
操作系統(tǒng)：Windows95/Windows98
主機：Pentium/Pentium II
硬盤：50M
