輕質量的外罩減少了整機的重量，從而了效率。
獲得的X 向“精密三角梁”設計增強了整機的剛性質量比，從而了測量的和運行的穩(wěn)定性。
厚重穩(wěn)固的花崗石工作臺減少了振動帶來的響。
燕尾式導軌整體加工在花崗石平臺上(該技術獲得)，了機器的和重復性。
電機遠程放置減少了移動質量，了速度，也避免了電機發(fā)熱對機器性能帶來的影響。
獲得的氣動平衡設計，了機器的測量性能。
采用的高分辨率金質光柵尺，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB。
控制器固定在主機一側，便于整體的移動。
獲得的X 向“精密三角梁”設計增強了整機的剛性質量比，從而了測量的和運行的穩(wěn)定性。
厚重穩(wěn)固的花崗石工作臺減少了振動帶來的響。
燕尾式導軌整體加工在花崗石平臺上(該技術獲得)，了機器的和重復性。
電機遠程放置減少了移動質量，了速度，也避免了電機發(fā)熱對機器性能帶來的影響。
獲得的氣動平衡設計，了機器的測量性能。
采用的高分辨率金質光柵尺，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB。
控制器固定在主機一側，便于整體的移動。
