分辨率/重復為0.1/0.5μm時，可（1.1＋0.6L/600）μm.
垂直度（前部）達6μm，直線度達4μm.
全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊高度。
帶有基本統(tǒng)計功能，另外，通過RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估。
高度儀可半自動測量時具有單鍵操作功能。
通過Digimatic工具實現(xiàn)數(shù)據(jù)輸入。
垂直度（前部）達6μm，直線度達4μm.
全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊高度。
帶有基本統(tǒng)計功能，另外，通過RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估。
高度儀可半自動測量時具有單鍵操作功能。
通過Digimatic工具實現(xiàn)數(shù)據(jù)輸入。
