中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會CSIA推薦中國品牌 SIYOUYEN®
臺式勻膠機:(Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater)
行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機,旋涂機,旋涂儀等。
型號MODEL KW-5型
產(chǎn)品概述:
SIYOUYEN品牌KW型勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。
勻膠機穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機的特點。
該機在這方面采取了許多措施:
?。ㄒ唬┰撛O(shè)備采用美國技術(shù),采用配件(韓國定子和轉(zhuǎn)子,美國電機)
?。ǘ┒ㄗ雍娃D(zhuǎn)子分開供電。定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速得多,轉(zhuǎn)速在1000~5000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)穩(wěn)定。
(三)本勻膠機有兩個轉(zhuǎn)速。在啟動之后,先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到運轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)。
?。ㄋ模┍緞蚰z機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個脈沖。閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒。當馬達旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn)。故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級。
?。ㄎ澹拔辈捎秒姶砰y控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,了效率。
(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間。
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
?。ò耍┰诎惭b結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,了在運轉(zhuǎn)時噪音很低,涂覆表面均勻,通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
?。ň牛﹦蚰z機配真空泵使用(KW-5型勻膠機推薦使用雙級無油真空泵 L-140型)
1,特點是雙轉(zhuǎn)速勻膠機,兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到運轉(zhuǎn)。
I檔調(diào)速范圍:500-1000轉(zhuǎn)/分 I檔勻膠時間:2-18秒
II檔調(diào)速范圍:1000-5000轉(zhuǎn)/分 II檔勻膠時間:3-60秒
2,轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準。
3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:&plun;1%,膠的均勻性:&plun;3%。
4,三相電源:380V
5,電機功率:180W
6,適用:Φ100-Φ200mm(4"~~8")硅片及其它材料等勻膠。
7,真空泵抽氣速率≥1200升/分
8,設(shè)備尺寸:500×500×460 mm
鑫有研企業(yè)集團有限公司品牌 SIYOUYEN®鑫有研®
品牌與榮譽
本公司產(chǎn)品榮獲“中國質(zhì)量”證書編號
本公司品牌榮獲“中國品牌”證書編號2010ZGLXPP616
本品牌勻膠機質(zhì)量技術(shù)和服務(wù)具有ISO9001:2000質(zhì)量管理體系
本品牌勻膠機已獲得國際商標證書:SIYOUYEN 鑫有研國際商標注冊證號
本品牌勻膠機在中國已被頒布為:中國品牌商標,證書編號E
本品牌勻膠機獲得高科技產(chǎn)業(yè)品牌推進委員會,證書號 CHCB0138







