HDS-LS3-6040是一個由壓電馬達驅(qū)動的高三維微米探針臺，X-Y-Z三軸的行程均為13毫米，開環(huán)步長為0.05μm，探針可選配。
HDS-LS3-6040專為科研實驗室中微米尺度/量級的力學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)、熱力學(xué)等性能測試打造的微米探針臺，并可增配閉環(huán)控制，實現(xiàn)1μm的走位控制。
HDS-LS3-6040專為科研實驗室中微米尺度/量級的力學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)、熱力學(xué)等性能測試打造的微米探針臺，并可增配閉環(huán)控制，實現(xiàn)1μm的走位控制。
