成都道和電工研究所研發(fā)的真空潘寧規(guī)提供了的高真空測(cè)量。無(wú)高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰板和高電壓降低,潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰濺射鍍膜工藝上。
特點(diǎn):
?。緶y(cè)量范圍廣:5 X 10-7~1 Pa
?。救饘倮潢幪沾蓚鞲衅?
>新型幾何電提供了好的點(diǎn)火性能
?。窘档偷入x子點(diǎn)火高電壓和鈦陰板污染的危險(xiǎn),即使在氬濺射過(guò)程中也一樣
?。娟?yáng)環(huán)和鈦陰可清洗,更換容易
?。拘〈艌?chǎng)強(qiáng)度測(cè)量
?。綥ED指示燈電源和等離子點(diǎn)火
>對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
?。綟ieldbus總線接口,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信







