在厚度為2nm(20埃)或更厚時(shí)膜是連續(xù)的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以電流密度,使得它具有的溫度來(lái)引起蒸發(fā)。基于這點(diǎn),出現(xiàn)了細(xì)小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵1x10-4mbar或更高的真空度。
渦輪分子泵在K950X中作為標(biāo)準(zhǔn)配置,此泵作為機(jī)械真空泵的后級(jí)泵,真空為全自動(dòng)控制,真空度1x10-5mbar。可進(jìn)行預(yù)熱及除氣控制,同時(shí)用瞬時(shí)蒸發(fā)開(kāi)關(guān)使脈沖蒸發(fā)在用戶(hù)控制下進(jìn)行。
標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié),容易適應(yīng)各種樣品座??蛇x的樣品臺(tái)具有的凹槽,可放置標(biāo)準(zhǔn)的載玻片,這在“石棉分析”需要鍍碳層時(shí)尤為有利?!?
碳棒頭在儀器中作為標(biāo)準(zhǔn)件。這是一個(gè)“快速釋放頭”,使用戶(hù)在選擇金屬蒸發(fā)附件、碳絲及光闌清洗頭時(shí)可方便地更換。放氣系統(tǒng)具有互鎖裝置,避免樣品受到干擾。渦輪分子泵可安裝在任何軸上,并且可地“關(guān)閉”直接通大氣?!?
主要特點(diǎn)
●全自動(dòng)抽氣系統(tǒng)
●旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
●菜單驅(qū)動(dòng)式“用戶(hù)”鍵盤(pán)輸入
●快速釋放頭方便選擇不同的頭
●約束的排氣控制
●渦輪分子泵抽真空
●容易操作
●均勻的樣品涂層
●方便多用戶(hù)操作
●可用于蒸碳及蒸鍍金屬
●在排氣過(guò)程中可樣品損壞
●碳棒或碳絲蒸發(fā)?!?
技術(shù)參數(shù)
儀器尺寸:450mmWx350mm Dx175mmH(Overall height with Work Chamber 750mm);重量:28Kg
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃165mm Diax125mmH
鐘罩:聚碳酸酯
鋁機(jī)座:110mm Diax115mmH
碳源:直徑3.2mm碳棒
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái):直徑為60 mm,傾斜0-90o
到電距離為110mm到130mm
真空計(jì)范圍:ATM-1x10-5mbar
操作真空:1x10-2 to 1x10-5mbar
安培計(jì):0-50 Amps
低電壓選擇:0-5V-15V-25V
除氣電流:0-25 Amps
渦輪分子泵:50L/Second
Services -Argon-Nominal 4psi。Rotary Backing Pump-Two Stage Vacuum Pump No。2,35L/Min
complete with Vacuum Hose?。Αil Mist Filter。2m3/Hr
電源:230V 50Hz(包括泵電流8安培);115V 60Hz(包括泵電流16安培)。







