Q150T系列模塊化鍍膜系統(tǒng)_專為SEM、TEM及薄膜應(yīng)用設(shè)計的高真空濺射和蒸發(fā)鍍膜儀
　　
　　Q150T系列：渦輪泵高真空鍍膜儀，可進(jìn)行精細(xì)顆粒鍍膜，適合場發(fā)射電鏡制樣應(yīng)用以及制作無定形碳覆形膜及TEM柵網(wǎng)支持膜。基于內(nèi)部安裝的渦輪分子泵抽真空平臺，Q150T具有三種版本／型號的鍍膜儀：濺射、蒸發(fā)鍍碳和濺射／蒸鍍。在運(yùn)用新科技整體成型的機(jī)箱上，設(shè)有彩色觸摸屏，可允許多用戶輸入和貯存鍍膜方案。在同一個易使用系統(tǒng)中，根據(jù)所選擇的配置，Q150T可以是一臺具水準(zhǔn)的離子濺射鍍膜儀用于高分辨掃描電鏡（SEM）制樣，也可以是一臺適合SEM或電鏡（TEM）應(yīng)用的蒸發(fā)鍍碳儀，或者是一臺兼具濺射和蒸鍍兩功能的一體化鍍膜儀。Q150T具有快速濺射易氧化和不氧化金屬靶材的寬可選范圍的能力，使其也成為許多薄膜應(yīng)用等材料科學(xué)領(lǐng)域的一個理想鍍膜平臺。
　　
　　高真空性能
　　Q150T裝在一個堅固的整體成型機(jī)殼中，它容納了工作部件，包括空氣冷卻的渦輪分子泵。自動進(jìn)氣控制了濺射期間的真空條件。真空腔室?guī)в斜?。Q150T含有的“真空閉鎖”允許在不用設(shè)備時維持腔室真空，從而真空性能。
　　
　　Q150T系列三種型號
　　Q150TS：高分辨率磁控離子濺射鍍膜儀，可濺射易氧化及不氧化金屬（貴金屬）?？蛇x各種濺射靶材，包括常用于場發(fā)射電鏡的銥和鉻。
　　Q150TE：高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀，可制作高穩(wěn)定性的碳膜和表面覆形膜，對電鏡（TEM）的應(yīng)用理想。
　　Q150T：了濺射和蒸鍍兩種沉積鍍膜功能的鍍膜系統(tǒng)，沉積鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)快速更換，智能邏輯系統(tǒng)自動識別出所裝的鍍膜頭類型，并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置。
　　上述每個型號還可選配一系列可選附件，如：金屬蒸鍍、碳絲蒸鍍、膜厚測量等。
　　
　　觸摸屏控制
　　Q150T的操作為簡單的觸摸屏，即使不熟練的或偶而使用的操作者，儀器也能使其快速鍵入和貯存自己的處理數(shù)據(jù)。程序中已貯存了各種典型濺射及蒸發(fā)鍍膜的參數(shù)資料，以便提供進(jìn)一步的易操作幫助。