???快速響應(yīng)(≦1.0)
?。繉拤毫Ψ秶?300 psig)以下
???無泄漏
?。繘]有所需溫度或壓力
?。窟B接相容
???高穩(wěn)定的移動(dòng)傳感器
???耐腐蝕性價(jià)值
????jī)?yōu)異的線性度
????jī)?yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
?。磕K化設(shè)計(jì)
???緊湊的流量控制系統(tǒng)
型號(hào)
TMFC30V
TMFC30A
TMFC50V
TMFC50A
流量范圍(N2)
10sccm~30SLM
10sccm~30SLM
10scc~50SLM
10scc~50SLM
反應(yīng)速度
≦1.0 sec
±1.0%FS
重復(fù)
±0.25%FS
耐壓
1300 PSIG
泄漏率
1 x 10-9 atm.cc/sec or less
操作溫度
0~50℃
配件材質(zhì)
本體:SUS316
閥體墊片:Vition?(Option Bura?or Kalrez?or Teflon?)
接續(xù)方式
標(biāo)準(zhǔn):1/4 compression
選購(gòu):1/8 compression,1/4 VCR?,3/8 Compression,VCR?
電氣接線
Dsub 15-pin 公接頭單出線
流量訊號(hào)輸入
0~5 Vdc
4~20mA
0~5 Vdc
4~20mA
流量訊號(hào)輸出
0~5 Vdc
4~20mA
0~5 Vdc
4~20mA
供應(yīng)電壓
+15~28 Vdc/350mA







