性能前級(jí)泵內(nèi)置式前級(jí)泵外置式及小車
前級(jí)泵油式機(jī)械泵 DS-42 2 m3/hr(34 l/m)DS-302 14 m3/hr(232 l/m)
渦卷式干泵 N/A TS-620 30 m3/hr(500 l/m)
小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 5×10-12 ATM CC/sec;5×10-12 mbar l/s;5×10-13 Pa m3/sec helium
測(cè)試口耐壓 16 mbar,12 Torr,1600 Pa
測(cè)試口處對(duì)氦氣抽速 1.8 l/s
響應(yīng)時(shí)間<1.0秒
設(shè)定點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn);5個(gè)設(shè)定點(diǎn);常開或常閉;3個(gè)漏率點(diǎn);1個(gè)壓強(qiáng)點(diǎn);1個(gè)聲訊點(diǎn)
通訊協(xié)議 RS-232通訊借口,9600波特率(9芯竄口)



