全自動波長掃描橢圓偏振光譜儀(ELLIPA型)-型
該光譜儀主要用于信息光電子功能薄膜和體材料的光學性質和結構特性研究,可被研究材料的種類包括:金屬和合金、元素和化合物半導體、緣體、導體、磁性和磁光材料、材料、多層薄膜材料等。在測量中,可按研究條件同時對入射角和波長進行自動精細掃描,從而增加了研究的靈,便于用戶獲得更多的光譜信息進行數據分析,了研究的質量和性。該光譜儀的主要性能指標國際同類技術的水平。
ELLIPA型
主要技術參數:
波長范圍 250-830nm
光源 氙燈
測量方式 同步
定標方式 自洽、
探測器 光電管
入射角范圍 20-90度
主要用途:
1、各種功能材料的光學常數測量和光譜學特性分析;
2、測量薄膜材料的折射率和厚度;
測量對象包括:金屬、半導體、導體、緣體、非晶體、晶格、磁性材料、薄膜材料、光電材料、非線性材料;
測量光學常數:復折射率的實虛部、復介電常數的實虛部、吸收系數a、反射率R?!?
主要性能指標:
波長范圍 250-830nm
波長分辨率 1.0nm
入射角范圍 20-90度
入射角 0.001度
橢偏參數 D±0.02度;Y±0.01度
光學常數 0.5%
膜厚準確度 ±0.1nm
全自動單波長橢圓偏振光譜儀(ELLIPE型)-普及型
為了能在更廣泛的領域推廣應用橢偏光學的原理和技術,本公司研制了固定波長的變入射角橢偏儀,尤其適合于在大學的教學和工業(yè)生產領域使用,具有較高的性能價格比,為一款普及推廣型的光譜測試設備?!?
設備技術指標:
光源 半導體激光器
波長 635nm
入射角范圍 20-90度
測量模式 反射
信號檢測模式 12位A/D采樣
測量方式 以2:1速率同步旋轉起偏和檢偏器,自動完成AC信號測量
數據測量方式 傅立葉變換
實測光學常數種類 復折射率、復介電常數、吸收系數、反射率
膜厚 ±1nm
系統定標方式 自洽、定標
主要用途:
1、各種功能材料的光學常數測量和光譜學特性分析;
2、測量薄膜材料的折射率和厚度;
測量對象包括:金屬、半導體、導體、緣體、非晶體、晶格、磁性材料、光電材料、非線性材料;測量光學常數:復折射率的實虛部、復介電常數的實虛部、吸收系數a、反射率R。

