全自動(dòng)波長(zhǎng)掃描橢圓偏振光譜儀(ELLIPA型)-型
該光譜儀主要用于信息光電子功能薄膜和體材料的光學(xué)性質(zhì)和結(jié)構(gòu)特性研究,可被研究材料的種類包括:金屬和合金、元素和化合物半導(dǎo)體、緣體、導(dǎo)體、磁性和磁光材料、材料、多層薄膜材料等。在測(cè)量中,可按研究條件同時(shí)對(duì)入射角和波長(zhǎng)進(jìn)行自動(dòng)精細(xì)掃描,從而增加了研究的靈,便于用戶獲得更多的光譜信息進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,了研究的質(zhì)量和性。該光譜儀的主要性能指標(biāo)國(guó)際同類技術(shù)的水平。
ELLIPA型
主要技術(shù)參數(shù):
波長(zhǎng)范圍 250-830nm
光源 氙燈
測(cè)量方式 同步
定標(biāo)方式 自洽、
探測(cè)器 光電管
入射角范圍 20-90度
主要用途:
1、各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測(cè)量和光譜學(xué)特性分析;
2、測(cè)量薄膜材料的折射率和厚度;
測(cè)量對(duì)象包括:金屬、半導(dǎo)體、導(dǎo)體、緣體、非晶體、晶格、磁性材料、薄膜材料、光電材料、非線性材料;
測(cè)量光學(xué)常數(shù):復(fù)折射率的實(shí)虛部、復(fù)介電常數(shù)的實(shí)虛部、吸收系數(shù)a、反射率R?!?
主要性能指標(biāo):
波長(zhǎng)范圍 250-830nm
波長(zhǎng)分辨率 1.0nm
入射角范圍 20-90度
入射角 0.001度
橢偏參數(shù) D±0.02度;Y±0.01度
光學(xué)常數(shù) 0.5%
膜厚準(zhǔn)確度 ±0.1nm
全自動(dòng)單波長(zhǎng)橢圓偏振光譜儀(ELLIPE型)-普及型
為了能在更廣泛的領(lǐng)域推廣應(yīng)用橢偏光學(xué)的原理和技術(shù),本公司研制了固定波長(zhǎng)的變?nèi)肷浣菣E偏儀,尤其適合于在大學(xué)的教學(xué)和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域使用,具有較高的性能價(jià)格比,為一款普及推廣型的光譜測(cè)試設(shè)備。
設(shè)備技術(shù)指標(biāo):
光源 半導(dǎo)體激光器
波長(zhǎng) 635nm
入射角范圍 20-90度
測(cè)量模式 反射
信號(hào)檢測(cè)模式 12位A/D采樣
測(cè)量方式 以2:1速率同步旋轉(zhuǎn)起偏和檢偏器,自動(dòng)完成AC信號(hào)測(cè)量
數(shù)據(jù)測(cè)量方式 傅立葉變換
實(shí)測(cè)光學(xué)常數(shù)種類 復(fù)折射率、復(fù)介電常數(shù)、吸收系數(shù)、反射率
膜厚 ±1nm
系統(tǒng)定標(biāo)方式 自洽、定標(biāo)
主要用途:
1、各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測(cè)量和光譜學(xué)特性分析;
2、測(cè)量薄膜材料的折射率和厚度;
測(cè)量對(duì)象包括:金屬、半導(dǎo)體、導(dǎo)體、緣體、非晶體、晶格、磁性材料、光電材料、非線性材料;測(cè)量光學(xué)常數(shù):復(fù)折射率的實(shí)虛部、復(fù)介電常數(shù)的實(shí)虛部、吸收系數(shù)a、反射率R。

