Phoenix　x｜aminerX射線檢測系統(tǒng)
　　具有亞高分辨率X射線檢測系統(tǒng)，適用于半導(dǎo)體封裝和線路板組裝等電子行
　　業(yè)領(lǐng)域產(chǎn)品的內(nèi)部缺陷檢測和失效分析。標(biāo)配性能的開放式亞160kVX射
　　線管，細(xì)節(jié)分辨力1μm，高分辨率的兩像素數(shù)字成像鏈、幾何放大倍率
　　可達(dá)2100倍，可對被測物進(jìn)行傾斜70°，旋轉(zhuǎn)360°任意范圍內(nèi)的視角進(jìn)行檢測。
　　軟件可對BGA、CSP進(jìn)行手動及半自動程序檢查檢測，并自動生成檢測數(shù)據(jù)。

　　主要特點(diǎn)：
　　的影像品質(zhì)
　　高細(xì)節(jié)分辨能力
　　小化的準(zhǔn)備時間
　　卓越的操控性能

　　主要技術(shù)參數(shù)：
　　系統(tǒng)放大倍數(shù)和分辨率
　　幾何放大倍數(shù)可達(dá)2100倍
　　細(xì)節(jié)分辨能力<1微米
　　亞X射線管
　　類型開放管，式管頭，170度輻射角，準(zhǔn)直功能
　　管電壓　160kV
　　管功率　20W
　　陽靶鎢靶，可旋轉(zhuǎn)調(diào)整以便多次使用
　　陰燈絲鎢絲，經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu)，更換簡單快速
　　真空系統(tǒng)渦輪分子真空泵和無油式低真空泵
　　探測器
　　數(shù)字成像鏈高分辨率4"圖像增強(qiáng)器和2像素數(shù)字照相機(jī)

　　檢測平臺
　　總體結(jié)構(gòu)高、無振動、5軸同步驅(qū)動
　　檢測區(qū)域　410mm×410mm
　　工件尺寸/重量　410mm×410mm/5kg
　　高放大倍率下傾斜視角　0°~70°無級調(diào)節(jié)
　　旋轉(zhuǎn)角度　360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
　　操控操縱桿控制或鼠標(biāo)（手動模式）和數(shù)控編程控制（自動模式）
　　軸運(yùn)動速度（X-Y-Z）10μm/s到80mm/s
　　操控輔助功能X射線影像導(dǎo)航圖，點(diǎn)擊移動功能，點(diǎn)擊放大功能，自動保持視野中心功能，激光定位瞄準(zhǔn)
　　碰撞裝置檢測樣品與射線管產(chǎn)生碰撞

　　圖像處理
　　功能的X射線二維圖像分析軟件（包含圖像對比增強(qiáng)和濾波功能、測量功能、數(shù)控編程功能）
　?。?biāo)準(zhǔn)）BGA焊點(diǎn)自動檢測功能
　?。?biāo)準(zhǔn)）空隙面積比自動計算，包括多芯片的貼裝空隙檢測功能
　　系統(tǒng)尺寸
　　尺寸（W×H×D）1800mm×1900mm×1300mm（不包括控制臺和可拆卸后伸展臺）
　　高度可調(diào)控制面板　400mm
　　重量約2100kg
　　射線護(hù)
　　護(hù)鉛鋼護(hù)結(jié)構(gòu)與鉛玻璃窗的屏蔽室
　　輻射泄漏率<1μSv/h，符合國際標(biāo)準(zhǔn)
　　硬件選配
　　傾斜/旋轉(zhuǎn)裝置傾斜&plun;45°，連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°，承重工件2kg
　　平板探測器可替換圖像增強(qiáng)器
　　功能需用高旋轉(zhuǎn)裝置與平板探測器.