技術(shù)參數(shù)：
　　
　　主要規(guī)格規(guī)格描述
　　X射線激發(fā)系統(tǒng)垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)
　　空冷式微聚焦型X射線管，Be窗
　　標(biāo)準(zhǔn)靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等
　　功率：50W（4-50kV，0-1.0mA）－標(biāo)準(zhǔn)
　　75W（4-50kV，0-1.5mA）－任選
　　裝備有射線光閘
　　二次X射線濾光片：3個(gè)位置程控交換，多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選
　　準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng)多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器
　　多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選：
　?。瓐A形，如4、6、8、12、20　mil等
　?。匦?，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
　　
　　測量斑點(diǎn)尺寸在12.7mm聚焦距離時(shí)，小測量斑點(diǎn)尺寸為：0.078　x　0.055　mm（使用0.025　x　0.05　mm準(zhǔn)直器）
　　在12.7mm聚焦距離時(shí)，測量斑點(diǎn)尺寸為：0.38　x　0.42　mm（使用0.3mm準(zhǔn)直器）
　　樣品室　CMI900　CMI950
　?。瓨悠肥医Y(jié)構(gòu)開槽式樣品室開閉式樣品室
　?。瓨悠放_(tái)尺寸　610mm　x　610mm　300mm　x　300mm
　?。璛Y軸程控移動(dòng)范圍標(biāo)準(zhǔn)：152.4　x　177.8mm
　　還有5種規(guī)格任選　300mm　x　300mm
　?。璟軸程控移動(dòng)高度　43.18mm　XYZ程控時(shí)，152.4mm
　　XY軸手動(dòng)時(shí)，269.2mm
　?。璛YZ三軸控制方式多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動(dòng)控制
　　－樣品觀察系統(tǒng)高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng)，標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。
　　激光自動(dòng)對(duì)焦功能
　　可變焦距控制功能和固定焦距控制功能
　　計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置　IBM計(jì)算機(jī)
　　惠普或愛普生彩色噴墨打印機(jī)
　　分析應(yīng)用軟件操作系統(tǒng)：Windows2000中文平臺(tái)
　　分析軟件包：SmartLink　FP軟件包