等離子體指部分或電離的氣體，且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷的總和抵消，宏觀上呈現(xiàn)中性電。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。
　　
　　看似“秘”的等離子體，其實(shí)是宇宙中一種常見的物質(zhì)，在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體，它占了整個(gè)宇宙的99％?，F(xiàn)在人們已經(jīng)掌握利用電場和磁場產(chǎn)生來控制等離子體。等離子體可分為兩種：高溫和低溫等離子體。
　　
　　低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫
　　
　　相當(dāng)。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的粒子，比通常的化學(xué)反映所產(chǎn)生的粒子種類更多、更強(qiáng)，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反映，因此它們被用來對(duì)材料表面進(jìn)行改性處理。與傳統(tǒng)的方法相比，等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)可以得到傳統(tǒng)的化學(xué)方法的處理效果。現(xiàn)在低溫等離子體表面處理廣泛運(yùn)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫及污染治理等多種領(lǐng)域。