NXXD-SH-20型硅料清洗機(jī)適用于6-200mm多晶硅料的酸腐蝕、清洗處理。用戶操作人員手動(dòng)上料后，手動(dòng)酸腐蝕后，全過程自動(dòng)化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動(dòng)化程度高，運(yùn)行成本低，生產(chǎn)效率高，性能穩(wěn)定，等特點(diǎn)。
　　
　　主要技術(shù)指標(biāo)
　　槽體數(shù)量：腐蝕槽：1個(gè)
　　DI水清洗槽：1個(gè)
　　水中傳遞槽：1個(gè)
　　聲槽：3個(gè)
　　三級(jí)溢流槽：1個(gè)
　　
　　清洗硅料數(shù)量：每個(gè)提籃可放置15Kg硅料
　　使用氮?dú)鈮毫Γ?.3～0.5Mpa
　　氮?dú)饬髁浚?le;5-7L／min
　　接口管徑：OD 3／8″
　　使用壓縮空氣壓力：0.3～0.6MPa
　　壓縮空氣流量：≤5-7L／min
　　接口管徑：OD 3／8″
　　使用DI水壓力：0.3～0.4MPa
　　DI水流量：≤24L／min
　　接口管徑：ODφ1″
　　排水口管徑：ODφ63mm
　　設(shè)備廢氣排風(fēng)量：≥8500L／min／每個(gè)排風(fēng)口
　　化學(xué)液排放：ODφ40mm
　　電源：～380V&plun;38V 50Hz 三相五線制
　　功率：3kW
　　外形尺寸（長×寬×高）：
　　6400mm（含上、下料）×1400mm×2300mm（含排風(fēng)接口）
　　重量：2100kg
　　
　　設(shè)備結(jié)構(gòu)及工作原理
　　如圖1所示。NXXD-SH-20型去硅料清洗機(jī)清洗機(jī)主要由由機(jī)架、排風(fēng)系統(tǒng)、工藝處理部分（包括一個(gè)腐蝕槽、一個(gè)DI水清洗槽、一個(gè)水中傳遞槽、三個(gè)聲槽、及一個(gè)三級(jí)溢流槽）、上下料系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)、水路、氣路控制系統(tǒng)以及電氣控制系統(tǒng)等組成。