氣體質(zhì)量流量控制器，即稱MFlowController（縮寫為MFC），不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡單地說，質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
　　
　　氣體質(zhì)量流量控制器
　　標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM；
　　0～1，2，3，5，10，20，30SLM
　　準(zhǔn)：±1％F。S；重復(fù)：±0.2％F。S
　　響應(yīng)時(shí)間：電特性＜10sec氣特性＜1～4sec
　　線性：±（0.5～1）％F。S工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
　　耐壓：3，10MPa；工作環(huán)境溫度：5～45℃
　　輸入輸出信號(hào)電壓：0～＋5.00V
　　電源：＋15V500mA，-15V500mA（輸入阻大于100K，輸出電流不大于3mA）
　　電連接器：D14pin
　　外形尺寸：130＊28＊121mm
　　重量：約1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok：Φ3、Φ6、Φ10、Φ1／4〞、Φ3／8〞
　　VCR接頭：Φ1／4〞、Φ3／8〞、Φ1／8〞