技術(shù)參數(shù):
1.標準運行時間(在10-9的范圍內(nèi)測試):4秒鐘內(nèi),標準測試腔(無需氮氣吹掃)
2.測量范圍:2.10-11to1.10-1mbar.l/s*
3.一到兩臺粗抽泵:25m3/h(15cfm)or 50 m3/h(30cfm)
4.前級泵:20m3/h(12cfm)
5.高真空泵:200 1/s復合分子泵pump
6.氦氣抽速:4.4 l/s
7.功率消耗:2.3kVA
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