MF5000系列氣體質(zhì)量流量計是矽翔微機電系統(tǒng)有限公司結(jié)合微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片技術(shù)和計算機自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表，主要技術(shù)性能處于國際水平，具有高靈敏度、高、大量程比等特點；針對工業(yè)環(huán)境，融合了多種干擾措施的電磁兼容設(shè)計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護方面也具有其的性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領(lǐng)域。應(yīng)用領(lǐng)域：運用于化工、石油、天然氣、冶煉、熱加工等工業(yè)環(huán)境。兼容設(shè)計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護方面也具有其的性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領(lǐng)域。應(yīng)用領(lǐng)域：運用于化工、石油、天然氣、冶煉、熱加工等工業(yè)環(huán)境
　?。捎梦C電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大。
　?。趩蝹€芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大。
　?。獋鞲衅鼽c穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計有大的。
　　＊結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計重復性好，實現(xiàn)了計量準確。
　?。夹g(shù)進步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，大地降低了能源消耗。
　?。捎肔CD顯示“瞬時流量”和“累計流量”，清晰直觀，讀數(shù)方便。
　　＊產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計技術(shù)，具有更高干擾能力。
　　＊流量計帶有RS485通訊模塊，配合計算機網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理。
　?。梢赃x配4～20mA標準電流信號輸出。
　?。?plun;（1.5＋0.2FS）％
　?。獪y量范圍 0.01～65m／sec
　?。獪y量管徑 1～19 mm
　?。褂铆h(huán)境溫度：-20～65
　　＊顯示瞬時流量；累計流量
　?。敵瞿Ｊ?4～20mA；RS485；RS232；0～5V；脈沖
　　＊校準條件 20oC；101.325 kPa.

其他說明

型號	通徑	接口
?。╥nch）	L	H	W	d	a	b	c
MF5003	3	1／8"	85	124	35	Φ3	25	16	50
MF5006	6	1／4"	95	127	35	Φ6	25	18	50
MF5008	8	3／8"	105	134	35	Φ8	25	22	50
MF5012	12	1／2"	116	137	40	Φ12	30	25	50
MF5019	19	3／4"	152	149	40	Φ19	30	40	70

型號	通徑	接口
sccm	SLPM	SCFM	NCMH
MF5003	3	1／8"	3	15-1500	0.15-15
MF5006	6	1／4"	3		0.5-50	0.02-2	0.035-3.5
MF5008	8	3／8"	3		1.2-120	0.045-4.5	0.075-7.5
MF5012	12	1／2"	3		3-300	0.1-10	0.17-17
MF5019	19	3／4"	3		8-800	0.28-28	0.48-48