1、IF　POD　OPENER?。ˋUTO）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　自動開盒器　型號：KH200–1–A　　
　　功能描述
　　1）　if　pod底盤安放位置檢測
　　     position　sensor　雙位置檢測　　
　　2）　硅片突出檢測（1mm）避免破片危險　　
　　3）　升降，開閉等動作時報警
　　4）　緩啟動，緩停止功能，減少沖擊
　　5）　一觸式按鈕開盒動作
　　6）　雙按鈕關動作，夾功能
　　7）　開閉盒期間，盒罩鎖住固定功能
　　8）　狀態(tài)顯示燈，報警功能
　　9）　單次開／閉盒時間　?。迹?4　秒
　　10）　設備電力　220V
　　
　　2、手動開盒器　　型號　KH200–1–M　　
　　功能描述
　　1）　if　pod底盤3點定位
　　2）　開閉盒位置磁性鎖住功能
　　3）　底座，滑措施
　　4）　靜電，潔凈材料運用
　　
　　3、光罩盒開盒器　　　型號：KHR200–1–R　　
　　功能描述
　　1）　reticle　pod底盤安放位置檢測
　　     position　sensor　雙位置檢測　　
　　2）　光罩突出檢測?。?.5mm）
　　3）　升降，開閉等動作時報警
　　4）　緩啟動，緩停止功能，減少沖擊
　　5）　一觸式按鈕開?。￠]盒動作
　　6）　雙按鈕關動作，夾功能
　　7）　潔凈材料運用，靜電對應
　　8）　狀態(tài)顯示燈，報警功能
　　9）　單次開／閉盒時間　　＜?。健?2　秒
　　10） 設備電力　220V