主要特征:
橫梁與Z軸采用表面陽(yáng)化航空鋁合金,溫度一致性;并降低了運(yùn)動(dòng)部件的質(zhì)量,減少測(cè)量機(jī)在運(yùn)行時(shí)的慣性
三軸導(dǎo)軌均采用高自潔式空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),導(dǎo)軌受磨損
三軸均采用高歐洲光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um;同時(shí)采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,在降低機(jī)器重量的同時(shí),消除了運(yùn)動(dòng)扭擺,了測(cè)量和穩(wěn)定性
各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng),運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確
X向采用精密三角梁技術(shù),相比矩形梁和橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比,運(yùn)動(dòng)更加。



