UNION HISOMET 工具顯微鏡，測(cè)量顯微鏡，
　　
　　品牌：UNION
　　型號(hào)：HISOMET系列
　　
　　非接觸式深度測(cè)量工具顯微鏡
　　
　　HISOMET系列工具顯微鏡為一X、Y、Z軸座標(biāo)測(cè)量顯微鏡，X、Y工作臺(tái)行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍數(shù)由5至1000×。為求工件在Z軸深度/高度測(cè)量時(shí)的，Z軸對(duì)焦采用一光學(xué)“裂像指示器”，結(jié)合精密的Z“Cross Roller Bearing”導(dǎo)軌，可測(cè)范圍25 mm，1μm，配合附件，測(cè)量分解度更可達(dá)0.5μm或0.1μm.
　　技術(shù)規(guī)格
　　型號(hào)：DH II
　　工作臺(tái)行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
　　Z軸測(cè)量范圍：25mm/25mm/25mm
　　三軸分解度：0.001mm
　　Z軸讀數(shù)裝置：ID-F內(nèi)置數(shù)顯表/外置數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
　　反射照明系統(tǒng)：內(nèi)置8V-15W鎢絲燈/外置冷光源
　　標(biāo)準(zhǔn)目鏡：10X
　　標(biāo)準(zhǔn)物鏡：10X
　　讀數(shù)系統(tǒng)
　　DRO200S簡(jiǎn)易坐標(biāo)讀數(shù)器/QC200多功能數(shù)據(jù)處理器/QC5000測(cè)量軟件電腦系統(tǒng)
　　
　　功能：
　　非接觸測(cè)量微細(xì)的撞擊、臺(tái)階等。
　　◎通過(guò)高的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)和的聚焦指示器完成高的測(cè)量
　　◎簡(jiǎn)單的操作
　　◎Z軸測(cè)量行程可從幾個(gè)到25mm
　　◎同時(shí)還可以完成測(cè)量點(diǎn)的表面觀察
　　
　　Union hisomet DH2高非接觸深度測(cè)量顯微鏡
　　采用光學(xué)和非接觸方法探測(cè)焦距的方法，測(cè)量不會(huì)給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測(cè)量時(shí)產(chǎn)生的?；谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用，以簡(jiǎn)單地把兩個(gè)目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來(lái)進(jìn)行高的測(cè)量。。
　　
　　用戶ASAT，ST 博士，覆蓋了80%的半導(dǎo)體工廠。