全自動測量，CNC四軸控制；
采用高花崗巖底座、主柱，長期穩(wěn)定性；
組件采用品牌；
全鼠標/搖軒自動化控制，簡單易用；
組合式照明配置，適應各種物體尺寸的測量；
自動對焦，測量性；
自動對焦測高，可加配接觸式測針。
采用高花崗巖底座、主柱，長期穩(wěn)定性；
組件采用品牌；
全鼠標/搖軒自動化控制，簡單易用；
組合式照明配置，適應各種物體尺寸的測量；
自動對焦，測量性；
自動對焦測高，可加配接觸式測針。
其他說明
| 型號 | IVG2010 | IVG3020 | IVG4030 | IVG5040 | |
| 行程(mm) | 200* 100* 200 | 300* 200* 200 | 400* 300* 200 | 500* 400* 200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1040X740X1620 | 1040X740X1620 | 1240X800X1620 | 1440X1000X1620 | |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| 測量 | XY軸 | (2.5+L/200)µ m | |||
| Z軸 | (5+L/200)µ m | ||||
| CCD | 像素彩色CCD | ||||
| 光學系統(tǒng) | NITAR鏡頭,光學放大倍率:0.5x - 4x,總放大倍率:36x - 288x | ||||
| 光源 | 輪廓光 | LED方形光源,亮度可調 | |||
| 表面光 | 多角度LED環(huán)形光源,亮度可調 | ||||
| 光柵尺分辨率 | 0.5µ m | ||||
| 運動控制 | 多軸高運動控制卡 | ||||
| 軟件 | HIG析杰 | ||||
| 電源 | 220V/50Hz | ||||
| 工作環(huán)境 | 溫度20℃&plun; 2℃,溫度變化< 2℃/hr,濕度40~80% | ||||
| 振動< 0.002g,低于15Hz | |||||
