掃描式激光測(cè)振儀（）位移分辨率0.008納米。實(shí)現(xiàn)整面物體的XY軸的振動(dòng)測(cè)量可以彩色動(dòng)畫輸出。三維激光測(cè)振可以實(shí)現(xiàn)三軸振動(dòng)測(cè)量。

　　應(yīng)用于如磁盤振動(dòng)，壓電陶瓷振動(dòng)，汽車玻璃振動(dòng)，橋梁振動(dòng)，油罐車振動(dòng)，機(jī)床精密加工振動(dòng)等等微小振動(dòng)的測(cè)量。非接觸測(cè)量精密機(jī)械加工微小振動(dòng)如壓電陶瓷，硬盤振動(dòng)，山體滑坡，橋梁振動(dòng)，汽車發(fā)動(dòng)機(jī)輸振動(dòng)，汽車玻璃振動(dòng)，高壓器振動(dòng)，水面振動(dòng)
　　
　　激光多普勒測(cè)振儀測(cè)量速度可達(dá)20m/s，頻率范圍可達(dá)2.5MHZ，可以檢測(cè)到納米級(jí)別的振動(dòng)。
　　
　　激光多普勒測(cè)振儀采用非接觸式的測(cè)量方式，可以應(yīng)用在許多其他測(cè)振方式無法測(cè)量的任務(wù)中。頻率和相位響應(yīng)都十分出色，滿足高、測(cè)量的應(yīng)用。使用非接觸測(cè)量方式，無需耗時(shí)安裝調(diào)節(jié)傳感器、無質(zhì)量負(fù)載，且不受被測(cè)物體的尺寸、溫度、位置、振動(dòng)頻率等的限制。還可以檢測(cè)液體表面或者小物體的振動(dòng)，同時(shí)，還可以彌補(bǔ)接觸式測(cè)量方式無法測(cè)量大幅度振動(dòng)的缺陷。
　　
　　掃描激光測(cè)振儀是在在單點(diǎn)激光測(cè)振儀的基礎(chǔ)上拓展的新功能，通過在單點(diǎn)激光測(cè)振儀的前面加上兩個(gè)掃描鏡，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)控制掃描鏡的偏轉(zhuǎn)角度，實(shí)現(xiàn)X、Y方向上的掃描測(cè)振；配備攝像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)人機(jī)互動(dòng)。掃描激光測(cè)振儀為物體結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性的可視化測(cè)量分析提供了的非接觸式測(cè)量技術(shù)。它能快速掃描物體表面并能靈活定義測(cè)量區(qū)域和測(cè)量點(diǎn)。為大型結(jié)構(gòu)、高溫、柔軟物體等接觸式測(cè)量無法滿足的振動(dòng)測(cè)量領(lǐng)域提供了良好的解決方案。
　　
　　工作原理激光多普勒測(cè)振儀的He-Ne激光器發(fā)出頻率的偏振光（設(shè)頻率為F0），由分光鏡分成兩路，一路作為測(cè)量，一路用于參考。測(cè)量光通過聲光調(diào)制器具有頻移（F），再被聚焦到被測(cè)物體表面，物體振動(dòng)引起多普勒頻移（f）。系統(tǒng)再收集反射光與參考光匯聚在傳感器上，這樣兩束光產(chǎn)生在傳感器表面產(chǎn)生干涉，干涉信號(hào)的頻率為F＋f，攜帶了被測(cè)物體的振動(dòng)信息。
　　
　　振動(dòng)速度 10m/s
　　頻率范圍 DC-80KHz
　　工作距離大于0.35m
　　低通濾波器 500Hz、1000Hz、5000Hz、20KHz、80KHz、
　　激光功率<1mW
　　掃描速度50點(diǎn)/s
　　掃描角度40度*40度
　　激光波長(zhǎng)氦氖激光633nm，Cl II
　　掃描點(diǎn)數(shù)可達(dá)512*512點(diǎn)
　　攝像機(jī) 72倍變焦（18倍光學(xué)，4倍數(shù)字）彩色攝像機(jī)
　　掃描范圍從幾平方毫米到數(shù)十平方米
　　
　　應(yīng)用：如整面玻璃，
　　主要特點(diǎn)
　　●非接觸式測(cè)量；
　　●可靈活定義幾何單元和掃描點(diǎn)；
　　●可以通過視頻圖像即時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果；
　　●可對(duì)每個(gè)采樣點(diǎn)單獨(dú)聚焦；
　　●強(qiáng)大的附件擴(kuò)展功能，可滿足客戶不同的測(cè)量需求；
　　●多功能振動(dòng)數(shù)據(jù)分析能力，包括圖表、動(dòng)畫以及數(shù)據(jù)輸出。
　　
　　應(yīng)用：如磁盤振動(dòng)，壓電陶瓷振動(dòng)，汽車玻璃振動(dòng)，橋梁振動(dòng)，油罐車振動(dòng)，機(jī)床精密加工振動(dòng)等等微小振動(dòng)的測(cè)量。
　　非接觸測(cè)量精密機(jī)械加工微小振動(dòng)如壓電陶瓷，硬盤振動(dòng)，山體滑坡，橋梁振動(dòng)，汽車發(fā)動(dòng)機(jī)輸振動(dòng)，汽車玻璃振動(dòng)，高壓器振動(dòng)，水面振動(dòng)整片不規(guī)則金屬大型結(jié)構(gòu)、高溫、柔軟物體等接觸式測(cè)量無法滿足的振動(dòng)測(cè)量領(lǐng)域的振動(dòng)情況。