規(guī)格參數：
EF-4030A
量測范圍
00mm*300mm*150mm
機身材質00級花崗巖
穩(wěn)定的結構，幾乎沒有內應力造成型變問題
工作臺材質
控制系統(tǒng)臺達
A2伺服電機
光學尺0.5μ方波全差分信號
光學系統(tǒng)
1：
明暗場工具顯微鏡
大倍率
較小面積的檢視劃傷用及檢視離子用
光學系統(tǒng)
2：
明暗場變焦顯微鏡
暗場技術
較大面積的檢視劃傷用
照明系統(tǒng)
1：
同軸光與暗場光
檢視ITO玻璃及檢視離子用
照明系統(tǒng)
2：
同軸光與之暗場光
檢視ITO玻璃
CCD攝像系統(tǒng)
3：
大范圍可調動參數之相機
檢視ITO玻璃
量測（3＋5L/1 000mm）μ
EF-4030A
量測范圍
00mm*300mm*150mm
機身材質00級花崗巖
穩(wěn)定的結構，幾乎沒有內應力造成型變問題
工作臺材質
控制系統(tǒng)臺達
A2伺服電機
光學尺0.5μ方波全差分信號
光學系統(tǒng)
1：
明暗場工具顯微鏡
大倍率
較小面積的檢視劃傷用及檢視離子用
光學系統(tǒng)
2：
明暗場變焦顯微鏡
暗場技術
較大面積的檢視劃傷用
照明系統(tǒng)
1：
同軸光與暗場光
檢視ITO玻璃及檢視離子用
照明系統(tǒng)
2：
同軸光與之暗場光
檢視ITO玻璃
CCD攝像系統(tǒng)
3：
大范圍可調動參數之相機
檢視ITO玻璃
量測（3＋5L/1 000mm）μ
