深圳市菲士能凈化科技與臺(tái)灣光晟科技聯(lián)合合作為室環(huán)境科學(xué)維護(hù)及塵埃微粒檢測(cè)提供的解決方案，紫光微粒檢出機(jī)就是這樣應(yīng)運(yùn)而生的產(chǎn)品。事實(shí)上紫光微粒檢出機(jī)是一種將塵埃微?？梢暬脑O(shè)備，將我們一般肉眼不能覺(jué)察的室內(nèi)設(shè)備附著的微粒顯明的呈現(xiàn)出來(lái)，以便于我們作出處理.
紫光微粒檢出機(jī)系利用的UV燈源，透過(guò)濾光片過(guò)濾產(chǎn)生出介于295nm到420nm波長(zhǎng)的紫外光。該波段針對(duì)任何可能具有熒光成分的塵屑(如PCB之纖維、樹(shù)酯…等)、水漬、油漬及一些容易靜電吸附的異物，具有很好的辨識(shí)效果，作業(yè)員可輕易用眼睛辨視出來(lái)，并透過(guò)布的擦拭而清潔之目的。
由于業(yè)者常利用紫光微粒檢出機(jī)來(lái)檢查大型設(shè)備的落塵狀況，但是因?yàn)椴糠謾C(jī)臺(tái)內(nèi)部管道狹窄，人員不易進(jìn)出，故希望能縮小機(jī)臺(tái)的重量或是體積。有鑒于此，光晟日前正式推出輕巧型手電筒式紫光微粒檢出機(jī)，可大幅使用之方便性。據(jù)了解，該新機(jī)型除沿用頗受好評(píng)鋰電模塊，另提供座充及機(jī)臺(tái)直接充電兩種選擇。使用者機(jī)臺(tái)使用到一半而電力耗盡，可作備份鋰電模塊之更換。
除此之外，光晟推出之UV Free之表面檢查燈有別于紫光微粒檢出機(jī)，專(zhuān)門(mén)適用于如晶圓、玻璃光罩、LCD ITO、DVD、光學(xué)玻璃等工作對(duì)象檢查。UV Free之表面檢查燈利用500nm以上眼睛感覺(jué)舒服的波段，來(lái)做particle及刮傷的判別檢查。操作者長(zhǎng)時(shí)間操作對(duì)眼睛并不造成負(fù)擔(dān)，也不容易感到疲倦。
光晟表示，由于客戶可分別利用紫光微粒檢出機(jī)及UV Free表面檢查燈做設(shè)備及工作對(duì)象清潔度管理，進(jìn)而制程良率。因此目前該公司的產(chǎn)品已獲得國(guó)內(nèi)各半導(dǎo)體、PCB、LCD及光電大廠廣泛采用。
