Etalon激光跟蹤儀的主要技術(shù)參數(shù)：
激光跟蹤儀是專門為機(jī)床及三坐標(biāo)測量儀而開發(fā)的測量儀器。激光跟蹤儀是一種具有溫度穩(wěn)定性的跟蹤干涉儀。其主要技術(shù)參數(shù)如下所示：
分辨率：0，001µm
長度測量誤差：0，2µm＋0，3µm／m
測量范圍：10m，通過數(shù)學(xué)疊加可以擴(kuò)展
檢測方法的優(yōu)勢：
使用Etalon激光跟蹤儀進(jìn)行誤差檢測及捕捉具有如下優(yōu)勢：
性：對機(jī)床整個工作空間的誤差測定需幾個小時
性：通過高激光長度測量完成對誤差的完整分析
性：使用激光跟蹤儀能在機(jī)床或三坐標(biāo)測量儀整個工作空間內(nèi)進(jìn)行完整測量
完整性：現(xiàn)存機(jī)床幾何誤差的捕捉、評估及可視化
靈：根據(jù)客戶需求可將測量到的誤差轉(zhuǎn)化成AFM格式校正數(shù)據(jù)。
激光跟蹤儀是專門為機(jī)床及三坐標(biāo)測量儀而開發(fā)的測量儀器。激光跟蹤儀是一種具有溫度穩(wěn)定性的跟蹤干涉儀。其主要技術(shù)參數(shù)如下所示：
分辨率：0，001µm
長度測量誤差：0，2µm＋0，3µm／m
測量范圍：10m，通過數(shù)學(xué)疊加可以擴(kuò)展
檢測方法的優(yōu)勢：
使用Etalon激光跟蹤儀進(jìn)行誤差檢測及捕捉具有如下優(yōu)勢：
性：對機(jī)床整個工作空間的誤差測定需幾個小時
性：通過高激光長度測量完成對誤差的完整分析
性：使用激光跟蹤儀能在機(jī)床或三坐標(biāo)測量儀整個工作空間內(nèi)進(jìn)行完整測量
完整性：現(xiàn)存機(jī)床幾何誤差的捕捉、評估及可視化
靈：根據(jù)客戶需求可將測量到的誤差轉(zhuǎn)化成AFM格式校正數(shù)據(jù)。
