ABRT旋轉(zhuǎn)氣浮平臺
1專為檢測,光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計
2無刷無槽伺服電機直接驅(qū)動,高扭拒輸出
3突出的速度穩(wěn)定性(電機無接頭效應(yīng))
4卓越的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯(lián)高旋轉(zhuǎn)編碼器
6的空心軸徑,無機械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
雙向重復(fù)定位<1arcsec

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ABRT旋轉(zhuǎn)氣浮平臺
1專為檢測,光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計
2無刷無槽伺服電機直接驅(qū)動,高扭拒輸出
3突出的速度穩(wěn)定性(電機無接頭效應(yīng))
4卓越的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯(lián)高旋轉(zhuǎn)編碼器
6的空心軸徑,無機械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
雙向重復(fù)定位<1arcsec