北京微納通科技有限公司
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ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應(yīng)用設(shè)計(jì)
2運(yùn)動平滑,速度穩(wěn)定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達(dá)1.2米
5全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
6非接觸設(shè)計(jì)
行程≤1200mm
±0.50um
重復(fù)定位±0.20um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
