YX-AS系列MEMS振動加速度傳感器:
1、基本工作原理簡述:
本產(chǎn)品采用單晶硅構(gòu)成質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng),差分電容方式檢測中心質(zhì)量塊與固定框架的相對位移,而該相對位移與外界輸入加速度具有確定的比例關(guān)系。
2、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)及特點(diǎn):
本產(chǎn)品是由加速度表頭、調(diào)理電路和金屬外殼等部分組成。加速度表頭采用硅微機(jī)械加工制造,差分電容敏感結(jié)構(gòu),采用陶瓷管殼充氮封裝,表貼形式焊接在印制電路板上;調(diào)理電路由集成電路和外圍電阻、電容等電子器件構(gòu)成,全部采用表面貼裝方式焊接在印制電路板上;傳感器使用表面陽極氧化發(fā)黑的鋁合金外殼,內(nèi)部組件采用環(huán)氧灌封,通過電纜與外界連接,輸出測試信號,引入工作電源。
3、質(zhì)量等級及執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):
產(chǎn)品質(zhì)量等級為普通軍品B1級
Q/HDYXW30001-2006 MEMS振動加速度傳感器詳細(xì)規(guī)范
4、產(chǎn)品用途:
MEMS微硅加速度振動傳感器具有量程大、抗沖擊振動能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于地面振動傳感與探測;導(dǎo)彈、飛機(jī)、艦船、潛艇在航行中,由于發(fā)動機(jī)、氣流和波浪擾動所造成的振動;地面車輛在凹凸不平的路面上行駛所引起的振動;旋轉(zhuǎn)機(jī)械由于質(zhì)量失衡在運(yùn)行中的振動等等。
5、產(chǎn)品參數(shù):
| 型號 | YX-AS-005 | YX-AS-010 | YX-AS-025 | YX-AS-050 | 單位 | |
| 輸入范圍 | ±5 | ±10 | ±25 | ±50 | g | |
| 頻響范圍 | 0~400 | 0~600 | 0~1000 | 0~1500 | Hz | |
| 靈敏度 | 800 | 400 | 160 | 80 | mV/g | |
| 輸出噪聲 | 32 | 64 | 158 | 316 | ug/(root Hz) | |
| 機(jī)械沖擊 | 2000g,半正弦波,0.1ms | mV/g | ||||
| 型號 | YX-AS-100 | YX-AS-200 | YX-AS-400 | 單位 | ||
| 輸入范圍 | ±100 | ±200 | ±400 | g | ||
| 頻響范圍 | 0~2000 | 0~3000 | 0~3500 | Hz | ||
| 靈敏度 | 40 | 20 | 10 | mV/g | ||
| 輸出噪聲 | 632 | 1264 | 2530 | ug/(root Hz) | ||
| 機(jī)械沖擊 | 2000g,半正弦波,0.1ms | mV/g | ||||
6、其他特性: