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TA610測量平臺,齒條升降,立柱可以隨意轉動,用來測量不容易放置的工件,可提高測量精度svzz/mlzz。 TA620測量平臺,絲桿升降,平臺上設置V型槽,用來測量形狀較小的工件,可提高測量平臺sqez/szzz。 TA630微調平臺,X—Y平面轉角,俯仰角srzz/mvzz。 TA631微調平臺,X—Y平面轉角mszz/rezz。 TA630、631都用來較小幅度的,粗確調整被測量工件的位置,提高測量精度。
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