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基本參數(shù):(200mm旋轉(zhuǎn)臺(tái))
承載方式:氣浮(氣壓<5bar)
驅(qū)動(dòng)方式:扭矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)
軸向/徑向跳動(dòng):<0.08um
適合用于潔靜的環(huán)境及高移動(dòng)速度。
相關(guān)的大直徑轉(zhuǎn)臺(tái)可達(dá)到1800mm或者2500mm
氣浮導(dǎo)軌配置了高精度的編碼器(Heinenhain)
主動(dòng)軸在運(yùn)行中幾乎沒有摩擦
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