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三維輪廓測量儀器
- 價 格：
- 電議
- 型 號：
- FRT MicroSpy Topo/Microprof
- 品牌/商標：
- 德國FRT公司
- 企業(yè)類型：
- 制造商
- 新舊程度：
- 全新
- 原產(chǎn)地：
- 德國
產(chǎn)品介紹
三維輪廓測量儀器
測量原理：共焦測量（非接觸式）
測量物鏡：10X，20X，50X，100X
Z軸測量范圍：400um
工作距離：1mm
Z軸分辨率：10nm，3nm,2nm,1nm
側(cè)向分辨率：1.98um,1um,0.396um,0.198um
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三維輪廓測量儀器
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