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測量顯微鏡配置:
XY軸測量范圍150mm*100mm或250mm*150mm
Z軸測量范圍:150mm
測量系統(tǒng):光電鋼質(zhì)光柵尺
分辨率:0.1um
測量精度:1.8um+0.005L um
QC測量計(jì)數(shù)器或IMS,OMS測量軟件。
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