機(jī)械定位部分包括精密旋轉(zhuǎn)夾持器,氣浮軸承,真空透鏡旋轉(zhuǎn)設(shè)備;光譜范圍覆蓋可見、紅外波段。
樣品直徑225/400/600,標(biāo)準(zhǔn)測量范圍(焦距、曲率半徑)+5...+450mm,可擴(kuò)展到+2000mm。
測量精度:+0.2微米或者+0.2秒;
測量模式透射法和反射法擴(kuò)展測量參數(shù)BFL 、曲率半徑、透鏡厚度、非球面中心偏差和平面元件角度等 測量軟件界面: 反射式透鏡雙表面中心偏同時(shí)測量軟件界面鏡頭組雙表面中心偏同時(shí)測量軟件界面曲率半徑測量軟件界面中心偏差測量原理圖:反射式中心偏測量示意圖 投射式中心偏測量示意圖特點(diǎn)。
計(jì)算機(jī)控制全自動(dòng)系統(tǒng):自動(dòng)測量中心偏差,自動(dòng)調(diào)整光學(xué)中心,自動(dòng)膠合。
機(jī)械定位部分包括了一系列可選的精密旋轉(zhuǎn)夾持器,氣浮軸承,真空透鏡旋轉(zhuǎn)設(shè)備。壓電裝置做光學(xué)對中,精度可達(dá)0.1微米。 光譜范圍覆蓋可見、紅外波段.軟件功能強(qiáng)大,操作簡便