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X,Z線性位移軸,靜油壓軸承技術;
大理石整體結構,主動隔振系統(tǒng);
X,Z 伺服電機驅(qū)動,行程410mm;
銑磨軸氣浮軸承技術,直流伺服電機驅(qū)動;
非接觸在線測量系統(tǒng),測量精度+/-0.5um;
加工直徑:400mm;
加工精度:Flatness-100nm/100mm
Roughness - 2nm(RMS)
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