上海Edwards STP301C磁懸浮分子泵

上海睿游電子科技有限公司維修真空濺鍍系統(tǒng)分子泵和磁控濺射電源的公司，磁控濺射電源涵蓋美國AE( Advanced Energy)電源,ADL電源，M2電鍍電源等，公司擁有經過專門培訓的維修工程師，具備了和全面的電源的維修知識和技能，多年來成功地為國內外客戶維修各種等離子鍍膜電源，獲得了國內外業(yè)界的客戶和朋友的認可。

維修分子泵控制器,分子泵電源,UV燈控制器.服務品牌非常全面，包括: 美國AE電源, 美國ENI電源,日本M2德國SINGULUS電源,Alcatel/Aixen法國阿爾卡特分子泵、Leybold德國萊寶分子泵、Pfeiffer-vacuum德國普發(fā)分子泵、BOC Edwards愛德華分子泵、VARIAN瓦里安分子泵維修保養(yǎng):高真空渦輪分子泵,復合分子泵,氫氣氦氣檢漏儀,質譜儀,工藝干泵,離子泵,鈦升華泵,羅茨泵.

PFEIFFER控制器維修 LEYBOLD德國萊寶真空分子泵驅動維修 Alcatel/Aixen 阿爾卡特分子泵控制器維修

PFEIFFER 德國普發(fā)真空分子泵 VACUUM TIC250/TCP015/TW250/TCP121/TC600/TCP380等型號

LEYBOLD德國萊寶真空分子泵控制器型號:TurboVAC150/151/361/1000/T1600/TW70/300/700 等型號

Alcatel/Aixen阿爾卡特分子泵控制器型號:ACT250/ACT100T/ACT600T/ACT200T/ACT100T等型號

Edwards STP301 DN100CF Inlet B74831010Edwards STP301C ISO100 inlet KF25 outlet B74871000Edwards STP301C ISO100 Inlet B74871010Edwards STP301C ISO100 inlet KF40 outlet B74872000Edwards STP301C DN100CF Inlet B74881010Edwards STP301對應的備件訂貨號為：Edwards STP straight connection cable, 5m B70700000Edwards Connection cable, 12m PT21Y0B08Edwards STP straight connection cable, 3m B70700010Edwards STP301磁懸浮分子泵用途為：Plasma etch (chlorine, fluorine and bromine chemistries) formetal (aluminum), tungsten and dielectric (oxide) and polysiliconElectron cyclotron resonance (ECR) etchFilm deposition CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVDSputteringIon implantation source, beam line pumping end station

BOC Edwards STP 301  STP 451  STP 603  STP 1003 STP 301C  STP 451C STP 603C  STP 1003C

愛德華Ultra High Vacuum Range分子泵