碳氧含量測試儀

Nicolet硅片分析系統(tǒng)為半導(dǎo)體
行業(yè)硅片分析量身打造?；诠δ?br />強大的Nicolet FT-IR光譜儀，Nicolet硅
片分析系統(tǒng)完美滿足半導(dǎo)體研究人
員與產(chǎn)品開發(fā)團隊的一切需求。
Nicolet硅片分析系統(tǒng)基于標(biāo)準(zhǔn)晶圓測
試平臺（到直徑300mm）和享有盛
譽的Nicolet 硅片分析軟件包，分析快捷
有效。軟件內(nèi)置所有適用于常規(guī)半導(dǎo)體
行業(yè)分析測試內(nèi)容的分析方法，并可按
用戶需求添加適用于獨特應(yīng)用的分析方
法，功能更為強大。
Nicolet硅片分析系統(tǒng)可靈活應(yīng)用于諸
多半導(dǎo)體分析測試領(lǐng)域，不僅可以分析
直徑為50mm-300mm的晶圓，還能測試形
狀不規(guī)整的硅片。系統(tǒng)不僅支持單點測
試和多點測試，并可全自動化整個硅片
分析流程。
Nicolet 硅片分析系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化應(yīng)
用
● 厚度測量
--- 適用于外延層、微電機系統(tǒng)(MEMS) 器
件、絕緣硅(SOI) 、多晶硅和III-V族半
導(dǎo)體膜
--- 多種計算方式適用于0.25-750μm的外延
層測量
● 間隙氧和取代碳含量檢測
--- 支持ASTM、JEIDA和DIN國際標(biāo)準(zhǔn)
● 介電膜表征
--- 硼磷硅玻璃(BPSG) 、磷硅玻璃(PSG)
和氟化硅玻璃(FSG) 膜中摻雜劑含量的
測試
--- SiN和SiON膜中氫含量的測試
Nicolet 硅片分析系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化
應(yīng)用
Nicolet 硅片分析系統(tǒng)倚靠賽默飛
世爾科技全球100多位專家的強大技術(shù)
力量，為各個領(lǐng)域的應(yīng)用提供并設(shè)計
的解決方案?？涨暗钠焚|(zhì)保證、
的培訓(xùn)課程和精益求精的產(chǎn)品完
全滿足半導(dǎo)體及太陽能硅材料行業(yè)的
所有需求。

產(chǎn) 品 說 明
Nicolet 硅片分析系統(tǒng)硬件
● 透射/反射模式
● 手動安裝晶圓
● 全自動化硅片分析
● 化光學(xué)選件，充分保障數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度
Nicolet 硅片分析系統(tǒng)軟件
● 易學(xué)易用的操作界面
● 觸摸屏設(shè)計
● 三重安全保障
● 大氣背景自動扣除
● 定制開發(fā)應(yīng)用軟件包
● 多種化學(xué)計量學(xué)算法，如線性回歸、最小二乘法、
偏最小二乘法
● 結(jié)果易于轉(zhuǎn)化成其他Windows應(yīng)用軟件可辨識的格
式，形成通用的報告，方便展示