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單方向往返精度中等測力模塊:0.50um高等測力模塊:0.40umXY平面預定行程變化中等測力模塊:±0.90um高等測力模塊:±0.80um觸發(fā)壓力XY面-中:2g高:2gZ軸-
具體技術資料如下:
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