接觸式臺階儀

品牌	kosaka	型號	KOSAKA LAB ET 200
測量精度	0.1nm	外形尺寸	W494×D458×H610mm（mm）
重量	120kg（kg）	適用范圍	max.110

微細(xì)形狀測定機(jī)（****接觸式臺階儀）株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立的公司，也是日本家發(fā)表光學(xué)幹槓桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業(yè)佔(zhàn)有一席無法被取代的地位。

 

設(shè)備特點(diǎn)：KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）****接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET 200能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。ET 200配備了各種型號****，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計，可直接觀察到****工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

 

規(guī)格一、測定工件：1. 工件尺寸：φ160mm2. 工件厚?：50mm3. 工件重量：2kg二、檢出器（pick up）：1. Z方向測定範(fàn)圍：Max. 600μm2. Z方向分解能：0.1nm3. 測定?：min.1mgf,max.50mg4. 觸針半徑：2 μm5. 驅(qū)動方式：直動式6. 再現(xiàn)性：1σ= 1nm三、X軸(基準(zhǔn)軸)： 1. 移動量(測長)：100mm2. 移動的真直?：0.2μm/100mm3. 移動,測定速?：0.02 ~ 10mm/s4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm四、Z軸： 1. 移動量：50mm2. 移動速度：max.2mm/S3. 檢出器自動停止機(jī)能4. 位置決定分解能：0.2μm五、工件臺：1. 工件臺尺寸：φ160mm2. 機(jī)械手動傾斜： ± 1mm/150mm?、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍?CCD)七、床臺：材質(zhì)為花崗巖石八、防振臺(選購)：?地型或桌上型九、電源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA十、本體外觀尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(?含防震臺)