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型號(hào)
ES-CMM1086
ES-CMM1218
ES-CMM1521
X軸
800mm
1000mm
1200mm
Y軸
1500mm
Z軸
600mm
結(jié)構(gòu)型式
活動(dòng)橋式
傳動(dòng)方式
直流伺復(fù)系統(tǒng)/預(yù)載荷高精度空氣軸承
長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)
HEIDENHAIN開(kāi)放式光柵尺,分辨率為0.5um (可選配0.1um)
機(jī)臺(tái)
高精度花崗石平臺(tái)(00級(jí)
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