| 品牌 | HF-DY | 型號 | XZ-150G |
| 測量范圍 | Ф1-100 mm |
| 項目 型號 | XZ-150G型 | ||
| 氣浮工作臺 | 氣浮形式 | 閉式 | |
| 移動精度 | Z:≤0.2um/100mm | ||
| 光柵尺 | 精度 | X:≤5um/150mm | X:≤3um /150mm |
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 進(jìn)口 | |
| 傳感器 | 量程 | 6mm(可擴(kuò)展) | |
| 分辨率 | |||
| 測量范圍 | 軸 | Ф1-100 mm | |
| 套 | ≤Ф200 mm | ||
| 長度 | 140 mm | ||
| 其他 | 標(biāo)配附件 | ||
| 可選附件 | |||
| 工作臺移動速度 | 0.2-0.4mm/s | ||
| 機(jī)械調(diào)速(分三檔) | |||
| 所需電源 | 220V 50Hz 0.5Kw | ||
| 所需氣源壓力 | 純凈空氣≥0.5Mpa | ||